核心赛道突围——国产替代加速背景下真空泵高端制造的全链进阶 头豹词条报告系列

　　行业定义

　　真空泵行业是专注于真空泵及其配套系统的研发、设计、生产、销售与技术服务的工业领域，通过机械、物理、化学或物理化学等多样化方法，对被抽容器或指定空间进行抽气作业，以产生、改善并维持低于环境大气压力的气体状态（即真空环境）的关键工业装置。作为工业生产与科学研究的基础装备，真空泵行业的服务范围不仅涵盖单一设备的制造，还包括由真空泵、管路、阀门、过滤器、控制装置等组成的抽气系统集成，以及针对不同应用场景的定制化方案设计、安装调试、运维保障等全链条服务。其产品性能直接影响终端领域的工艺精度与生产效率，广泛支撑半导体制造、光伏能源、生物医药、航空航天、食品加工、环境保护等众多行业，是连接基础工业与高端制造的关键纽带。

　　行业分类

　　按所能达到的真空度水平，真空泵可分为如下分类：

　　真空泵基于真空度水平的分类

　　可分为粗真空泵和高真空泵（包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵和罗茨真空泵）。

　　粗真空泵

　　主要用于抽除空气，以及“有一定腐蚀性、不溶于水、含少量固体颗粒”的气体，核心优势是“可形成粗真空、抽气量大”，且普遍具有结构简单、使用方便、工作可靠、维护便捷的特点。其应用集中在食品、纺织、医药、化工、机械等行业，具体工艺包括真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥、蒸馏等；部分特殊类型（如无油耐腐蚀立式往复真空泵）采用全密封装置实现曲轴箱与汽缸的完全隔离，活塞环使用自润滑材料，实现无油润滑且无污水排放，更适配化工、医药、食品等对清洁度要求高的行业工艺。

　　高真空泵

　　包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵和罗茨真空泵：（1）滑阀式真空泵：可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵；能适配真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制；但抽吸“对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽或粉尘的气体”时，需附加专用装置。相比旋片式真空泵，其耐用性高数倍、抽气速率大，价格相对更高，广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业。（2）旋片式真空泵：具有结构紧凑、体积小、重量轻、噪音低、振动小的优势，更适合作扩散泵的前级泵，以及精密仪器配套（如质谱仪器、冰箱流水线）和实验室使用（如真空冷冻干燥机）。（3）罗茨真空泵：需与前级泵（如水环式真空泵、滑阀真空泵、立式无油真空泵、分子真空泵等）配合使用，在较宽压力范围内有较大抽速，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业，常作为真空机组的主泵。