专注真空装备技术，干式真空泵配套长鑫、长存等半导体本土领军者

　　中科仪(920186)

　　投资要点：

　　中科仪本次发行采用网下询价，申购日为2026年4月20日。公司本次发行数量为5200万股，发行后总股本为22384万股，本次发行数量占发行后总股本的23.23%。经我们测算，公司发行后预计可流通股本比例为45%，老股占可流通股本比例为48.38%。本次发行战略配售初始发行数量为520万股，占本次发行数量的10.00%，相关领域产业资本（兆易创新、屹唐半导体）参与。中科仪此次募集资金将主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，其中干式真空泵产业化建设项目达产后预计新增年产20040台干式真空泵的产能。

　　中科仪长期专注于真空科研仪器，2025年归母净利润84387万元（yoy+337.77%）。公司专注真空装备这一“硬科技”领域，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，已形成干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块，其中干式真空泵是目前半导体和泛半导体领域主流用泵，真空科学仪器设备产品包括用于薄膜制备的仪器设备（PVD、CVD）和用于重大科技基础设施的高能物理真空装置。公司客户主要为集成电路企业、光伏企业、科研院所等，2024年度公司第一/二大客户分别为长江存储/长鑫科技，此外公司近几年主要客户中还有北方华创、中芯国际、隆基绿能、鹏芯微、上海积塔半导体等行业知名企业。2025年公司营收12.91亿元（yoy+19%），归母净利润84386.54万元（yoy+338%）。

　　2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。公司生产的干式真空泵属于通用设备，可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个产业。WSTS预计2026年全球集成电路市场规模或增至8743亿美元，较2025年大幅增长28.97%；全球集成电路产业长期稳步增长，带动相关制造设备需求持续扩张，预计2027年晶圆厂设备销售额将达1352亿美元，较2026年大幅增长7.3%；2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。此外，IEA数据显示2030年全球光伏新增装机容量在各种电源形式中的占比或将达到70%，亦有望带动对真空泵需求。公司的可比公司为拓荆科技、华海清科、北方华创和中微公司。

　　申购建议：中科仪长期专注于真空技术及装备、干式真空泵领域，公司的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断，产品已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，并且是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。截至2026/4/10，可比公司PETTM中值为78X，建议关注。

　　风险提示：技术和产品研发风险、市场竞争加剧的风险、国际贸易摩擦的风险