半导体设备招标跟踪（2021年12月）：扩产持续，华虹再启大量招标

　　H2采购潮再启，国产占比提升。本土晶圆厂龙头中芯国际（绍兴）、长江存储、华虹宏力（包括华虹半导体、上海华力）2021年共计完成设备招标899台，同比增长54%。上半年采购高峰集中在1月和4月，主要订单分别来自华虹无锡和长江存储。下半年采购高峰出现在7月和9月，分别完成招标91台和110台，由长江存储贡献主要增量。全年来看，国产设备中标量占比达21%，清洗、去胶、涂胶显影、刻蚀、CMP国产化率较高。

　　2021三大晶圆厂招标结果明细：

　　1）华虹：267台，国产47台，国产化率18%；

　　2）长江存储：475台，国产71台，国产化率15%；

　　3）中芯绍兴：157台，国产70台，国产化率45%。

　　12月华虹再启大量招标。12月华虹公布了292台晶圆厂设备的新增招标。包括光刻7台，涂胶显影9台，薄膜沉积58台，刻蚀49台，炉管80台，离子注入18台，CMP20台，清洗26台，去胶20台，以及3台后道封装设备和2台辅助设备，采购主体为华虹无锡。本次开标力度空前，超过21年全年招标完成数量，我们对22年初华虹的产能扩张展望乐观。

　　2021国产设备厂商中标明细：

　　1）北方华创27台，包括薄膜/刻蚀/炉管；

　　2）盛美18台，包括湿法清洗/涂胶显影/后道封装；

　　3）中微16台，均为干法刻蚀；

　　4）芯源微16台，包括涂胶显影/湿法刻蚀/湿法清洗/湿法去胶；

　　5）屹唐15台，包括干法去胶/干法刻蚀；

　　6）拓荆13台，均为薄膜；

　　7）华海清科10台，均为CMP；

　　此外，盛吉盛、吉姆西共计中标17台，二手设备占据一定市场份额。

　　投资建议：2021年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而22年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年。12月华虹的大幅增长招标量体现晶圆厂的旺盛扩产意愿和22年设备市场的景气度持续。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到越来越多的国产设备厂商涌现。我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，建议关注北方华创、中微公司、万业企业、芯源微。

　　风险提示：半导体行业下游需求不及预期、晶圆厂扩产进度不及预期、设备研发进展不及预期。