计算机：半导体设备国产化持续推进，重点关注AMHS领域

　　报告摘要

　　AMHS产品化节奏逐步加快。2024年3月20日-3月22日，SemiconChina2024在上海举行，在AMHS(AutomaticMaterialHandlingSystem)领域，国内厂商代表华芯（嘉兴）智能装备有限公司（华芯智能）等国内厂商参展，展示了第四代天车飞兔OHT实机等新产品，产品化节奏逐步加快。

　　AHMS助力晶圆厂降本增效，已成智能制造标配。AMHS中文译作“自动物料搬送系统”或“天车”，能快速准确的按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆的载具，是半导体产业链中极其关键的环节。AMHS由传输设备、存储设备、净化设备和控制软件等软硬件共同组成，包括OHT（空中走行式无人搬送车）、Stocker（存储仓库）、Lifter（升降机）、OHB（空中缓存站）等硬件设备和软件系统MCS（搬送控制管理系统）、MOC（multiOHTscontroller）等。随着晶圆制造工艺愈发复杂，晶圆片尺寸从8寸到12寸不断增大，物料的安全搬运需求日益凸显，AMHS在12寸FAB厂已成为智能制造的标配。AMHS的天车系统搭配自动化设备可利用派工系统指派搬运车进行指定目标机台上料盒的抓取和搬运，可大幅提高半导体厂的搬送效率，减少人力配置，降低生产成本。

　　AMHS市场空间广阔。AMHS下游应用场景已逐渐从除半导体晶圆制造，向先进封装、功率和化合物半导体、硅片与面板行业渗透，但市场结构中，仍然以12寸FAB厂的需求为主。同时，AMHS从开始的只具有简单搬运功能逐渐向智能一体化控制化迭代，价值量不断提升，带动AMHS行业整体的市场规模不断增长。根据SEMI预测，2025年全球半导体设备的市场规模达1241亿美元，2025年中国半导体设备市场规模为363亿美元。AMHS在整个半导体前道设备市场中占比约3%，因此，我们预计2025年，全球AMHS市场规模达37亿美元，中国AMHS市场规模达11亿美元。

　　国产化是AMHS的必经之路。根据SEMI的数据，2019年，日本大福与日本村田合计占全球AMHS市场90%以上市场份额，在国内AMHS行业的市占率达90%以上。考虑到AMHS技术壁垒较高，单个OHT天车的硬件就包含了2000个零部件，下游客户在选择供应商时存在路径依赖，导致更早入局的海外厂商份额领先。在高端半导体设备受限的背景下，国产AMHS厂商国内市场份额有望逐渐提升，并在部分细分领域取得突破，根据我们调研，华芯智能近两年在12寸先进存储AMHS的市场份额均超过10%。

　　投资建议：AMHS是助力晶圆厂降本增效的关键设备，随着国产AMHS厂商陆续发力新产品、进口海外半导体涉及受限，AMHS国产化有望为国内厂商带来广阔成长空间。重点关注华芯智能等国产AMHS领先企业。

　　风险提示：半导体设备国产化不及预期；行业竞争加剧。