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子行业跟踪周报:海外算力周跟踪:玻璃基板导入,AI先进封装迈向无机核心材料升级

www.eastmoney.com 东吴证券 陈海进,解承堯 查看PDF原文



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  投资要点

  玻璃基板:AI时代先进封装的新一代底座

  AI算力持续扩张,GPU、ASIC、HBM与Chiplet堆叠推动封装向“大尺寸、高密度、高速互连”演进,传统有机基板在热膨胀系数失配、翘曲、布线密度和高频损耗方面的瓶颈逐步显性化。玻璃基板凭借可调CTE、低介电损耗、高表面平整度和面板级大尺寸加工潜力,正成为先进封装的重要替代方向。当前产业路径主要包括三类:一是台积电CoPoS路线,以方形玻璃面板和多层RDL替代传统硅中介层,解决CoWoS在大尺寸AI芯片封装中面积利用率和成本受限的问题,台积电计划2026年启动试验线,2028至2029年量产;二是英特尔Glass-Core路线,以玻璃芯板替代ABF有机载板芯层,用于下一代AI和HPC封装,核心在于提升尺寸稳定性、布线精度和大尺寸封装适配能力;三是CPO光电共封装方向,玻璃基板凭借低损耗、高平整度和光学透明性,可同时承载高速电互连与低损耗光互连,成为光电共封装的重要底层材料。

  加工流程:TGV、金属化与RDL决定产业化良率

  玻璃基板制造核心可概括为“TGV通孔成型、通孔金属化填充、表面RDL布线、后段检测封装”四大环节。前段首先对玻璃原片进行清洗、减薄、磨抛和表面处理,再通过激光诱导刻蚀制作TGV通孔。该工艺先按设计图形进行激光改性,再经化学刻蚀形成通孔,优势在于无碎屑、无微裂纹、残余热应力低,可实现高深宽比微孔加工。随后进入孔壁金属化阶段,由于玻璃本身绝缘且与铜粘附性较弱,通常需要先进行表面处理并沉积黏附层、阻挡层和种子层,主流方案包括PVD或化学镀,再通过电镀铜完成通孔填充。对于高深宽比TGV,行业更倾向采用“底向上”电镀方案,以降低孔口提前闭合和内部空洞风险。完成垂直互连后,玻璃表面继续通过PVD镀铜形成种子层,再结合曝光、显影、刻蚀或半加成工艺制作RDL重布线层,最后经过退火、CMP、去胶、Cu/Ti刻蚀、钝化层制作、AOI检测、电性测试和可靠性验证,形成可供封测厂导入的玻璃基封装载板。整体看,TGV成孔精度、孔内无缺陷填充、铜层附着力、多层RDL对准精度和冷热循环可靠性,是决定玻璃基板从中试走向量产的核心瓶颈。

  产业链:原片、加工、设备&材料三条主线同步重估

  上游原片环节壁垒高,核心在无碱或低碱硼硅特种电子玻璃,要求低介电损耗、可控CTE和大尺寸均匀性。全球由康宁、AGC、肖特主导,国内凯盛科技、旗滨集团、力诺药包、戈碧迦、彩虹股份等加速追赶。其中药用硼硅玻璃与半导体玻璃基板底层材料体系相通,力诺药包、山东药玻等具备材料配方和成型能力迁移基础。

  中游加工环节重点关注具备薄化、镀膜、TGV、精密镀铜和多层线路制作能力的企业。沃格光电已掌握玻璃基板全制程工艺,湖北通格微光模块玻璃基载板已完成小批量送样;京东方已完成大板级玻璃载板研发并产出样品,布局半导体先进封装和光模块应用。

  设备与材料环节将随工艺复杂度提升同步受益,激光设备对应TGV成孔,关注大族激光、帝尔激光等;电镀设备和电镀液对应TGV填孔与表面铜层增厚,关注东威科技、天承科技等;光刻、LDI及检测设备对应RDL图形化与良率控制,关注芯基微装等;PVD设备和种子层工艺则是玻璃表面金属化的关键环节。综合来看,玻璃基板不是单一材料

  行业跟踪周报

  替代,而是从“材料、面板、封装、设备”共同驱动的先进封装生态重构。随着Intel、TSMC、三星电机、Absolics、京东方等持续推进中试和量产验证,2026年有望成为玻璃基板商业化导入关键节点,2028年前后进入加速渗透期。建议重点关注具备原片配方、TGV加工、金属化填充、RDL布线和客户认证能力的产业链环节。

  产业链相关公司:

  原片:凯盛科技、力诺药包、旗滨集团、戈碧迦、彩虹股份等

  加工:沃格光电、京东方A、云天半导体(未上市)、巽霖科技(未上市)等

  设备&材料:芯碁微装、帝尔激光、大族激光、东威科技、天承科技、洪田股份等

  风险提示:供应链波动风险,下游需求不及预期,行业竞争加剧。

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