制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件

　　至纯科技(603690)

　　投资要点

　　2023年8月28日，公司发布2023年半年度业绩报告。2023年H1公司营业收入为14.80亿元，同比增长32.13%，归母净利润为1.09亿元，同比增长33.67%；毛利率为34.96%，净利率为5.82%。

　　制程设备业务持续深入，高纯工艺系统集成订单再创新高业务。（1）制程设备业务：公司旗下至微科技是国内湿法设备主要供应商之一，目前湿法设备在28纳米节点已经全覆盖，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点，至微已取得部分工艺订单。单片硫酸设备为湿法设备中难度最高工艺机台，至微S300SPM机台已交付给多家国内主流晶圆厂，并已经应用于国内头部客户12英寸逻辑量产线，月产能最高可达6万片次以上。2023H1，单设备在用户量产线上累计产量已超过20万片次，是为高阶湿法设备国产替代进口重要里程碑。目前至微是国内单片硫酸设备达到上述单机台量产指标的唯一厂商。公司湿法设备应用于成熟制程产品线拓展有序，在部分逻辑用户和第三代半导体用户的产线渗透率持续提高。应用于先进制程高阶产品线，在订单获取的进度上受到用户扩产进度影响有延后，但在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等尚被国际厂商垄断的机台，公司交付和验证进度都在国内领先。（2）高纯工艺系统集成业务:以支持设备为主的高纯工艺系统集成业务仍保持良好增长，订单再创新高。公司已成为国内最大高纯工艺系统支持设备供应商，有效替代并改变原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。

　　启东基地二期、海宁基地及日本工厂顺利启用，产能提升助力主营发展后劲。启东设备制造基地二期P1厂房3万平米交付启用，产线顺利建设完成，已经正式投产；海宁模组及精密制造基地8.5万平米交付启用，设备机台顺利移入，已经正式投产；日本子公司办公及厂房约5000平米完成交付和搬入，正式启用，为进一步开拓海外市场发展提供基础。2023H1，公司已经建成34万平米的生产和服务基地，另有10万平米建设中将于年内交付，能有效支持公司在“十年展望-五年规划-三年路径-年度目标”框架下的中短期和长期战略目标。公司产品线布局和产能建设都已经能够支持年度百亿订单交付，为公司实现3-5年经营战略目标奠定了基础。

　　加速布局电子材料及核心零部件业务，持续加强制程设备本土供应链建设。电子材料及核心零部件方面：（1）大宗气业务已经稳定地给公司贡献收入，由公司投资和设计建设的国内首座完全国产化12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂指标完全达标，目前已持续稳定供气达到1.5年，成功打破原先先进制程大宗气由国际供应商垄断情势，实现国内自主大宗气站零突破。（2）合肥晶圆再生和腔体部件再生业务量开始进入稳定爬坡，下半年预期进入盈亏平衡并逐步进入利润贡献期，在用户导入方面已经顺利调整策略并进入有序业务爬升中。（3）TGM/TCM驻厂服务有序开展，部分腔体部件开始验证，皆为长期用户基于信任需求导入，在电子材料方面也已开始布局。供应链建设方面：公司于2021年起部署人力物力加强制程设备本土供应链的建设，以确保业务连续性并提升交付周期。2023H1，制程设备本土供应链的建设进一步取得成果，公司通过订单牵引、合作开发等一系列举措培养本土上游供应链的阶段目标一一达成。

　　投资建议：我们维持盈利预测，预计2023年至2025年营业收入分别为42.71/50.88/58.74亿元，增速分别为40.1%/19.1%/15.5%；归母净利润分别为5.23/6.76/8.79亿元，增速分别为85.1%/29.3%/30.0%；对应PE分别19.9/15.4/11.9。考虑到至纯科技在国内清洗设备领域领先地位，且产品率先突破14nm制程，叠加系统集成业务导入一线集成电路制造企业，维持买入-A建议

　　风险提示：新建晶圆厂进程不及预期；公司研发进展不及预期；国内外同行业竞争加剧，造成人才流失风险。