半导体收入和订单快速增长，薄膜沉积设备布局持续突破
微导纳米(688147)
主要观点：
公司发布2026年三季度业绩：
公司2026Q3实现营业收入6.2亿元，同比-7.9%，环比-12.5%，营收下滑主要受光伏行业阶段性调整影响，同时半导体设备处放量初期；归母净利润0.58亿元，同比+4.2%，环比-28.2%；扣非后净利润0.50亿元，同比+1.9%，环比+31.1%。26Q3毛利率31.2%，同比+4.6pct，环比+0.4pct。
半导体收入和订单快速增长，ALD/CVD/PVD产品品类持续丰富2026年1-9月，公司实现半导体设备业务收入9.98亿元，同比增长89.69%，占主营业务收入比重提升至55.40%，已成为公司第一大收入来源和核心增长引擎。
截至2026年9月末，公司在手订单总额约67亿元。其中，半导体领域订单占在手订单总额的比例超过2/3。2026年1-9月新增订单中，半导体领域订单占比超过85%，增量主要来自于NAND、DRAM和逻辑领域的头部客户。
ALD方面，公司将量产型High-k工艺专用ALD设备应用于集成电路制造生产线，已全面覆盖主流薄膜材料与核心工艺。设备应用场景已覆盖逻辑芯片、DRAM、3DNAND、新型存储、先进封装等，并拓展至硅基电容等新兴应用场景。公司最新推出的iTomicMeT系列原子层沉积系统Ru工艺专用设备，攻克金属Ru薄膜超薄连续成膜难题，为下一代互连技术提供工艺解决方案。
CVD方面，公司将硬掩膜工艺专用PECVD设备导入产业链核心厂商量产线，完成高温CarbonPlug、HDC、WDC等新型碳膜及掺杂碳膜设备与工艺开发，LPCVD获产业链重要客户量产重复订单。
PVD方面，公司已发布两款iMagtron系列磁控溅射设备，分别为后道铜阻挡层/种子层集成工艺系统与金属硬掩模工艺系统，面向集成电路制造后道金属互连的工艺需求。
投资建议
我们预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为3.0/5.0/7.0亿元，当前市值对应2026/2027/2028年盈利的PE为94X/56X/40X，维持“增持”评级。
风险提示
公司获取订单节奏不及预期；下游行业需求不及预期；技术迭代风险。
