股东大会：于2025-06-16召开2024年年度股东大会更多>>

公告：2025年06月14日发布《至纯科技:高级管理人员减持股份计划公告》更多>>

股权质押：截止2025年06月13日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”)于2024年10月29日召开第五届董事会第九次会议,审议通过《关于与关联方共同投资设立投资基金暨关联交易的议案》,公司拟与南通天使引导投资基金(有限合伙)、南通科创投资集团有限公司、启东金北翼母基金投资合伙企业(有限合伙)、启东创新发展投资合伙企业(有限合伙)、上海至衍私募基金管理有限公司(以下简称“上海至衍”)、蒋渊、陆磊、刘怡、张佩琼、刘荣华共同投资设立南通至精通昇半导体产业投资基金(有限合伙)(暂定,以市场监督管理机构登记为准,以下简称“本基金”),主要投资于半导体、泛半导体及光电领域等中国的境内企业。基金募集资金总额为20,000万元,其中:公司认缴出资4,000万元,认缴占比20.00%;公司全资子公司上海至衍认缴出资500万元,认缴出资占比2.50%,担任基金执行事务合伙人;蒋渊女士认缴出资1,000万元,认缴出资占比5.00%,陆磊先生认缴出资1,500万元,认缴出资占比7.50%。本基金不纳入公司的合并报表范围。更多>>

公告：2025年06月12日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》等2条公告更多>>

机构调研：2025年06月09日披露公司于2025年04月01日接待55家机构调研更多>>

股权质押：截止2025年06月06日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

公告：2025年06月04日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年05月30日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

公告：2025年05月30日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》等2条公告更多>>

股权质押：截止2025年05月23日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

公告：2025年05月20日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年05月16日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

公告：2025年05月15日发布《至纯科技:关于第三、四期股权激励计划中部分股票期权注销完成的公告》更多>>

研报：2025年05月14日发布《公司简评报告：国产供应链有序切换，高阶设备与电子材料业务增长可期》研报更多>>

股权质押：截止2025年05月09日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

公告：2025年05月07日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年04月30日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

业绩报表：2024年年报归属净利润2360万元，同比下降93.75%，基本每股收益0.062元更多>>

公告：2025年04月29日发布《至纯科技:2024年度内部控制审计报告》等43条公告更多>>

预约披露日：2025年第一季度季报预约2025年04月29日披露更多>>

预约披露日：2024年年报预约2025年04月29日披露更多>>

公司投资：2025年04月29日公布截止2024年12月31日长期股权投资7家公司，共计2.86亿元，本报告期内损益1592.33万元更多>>

分红：2025年04月29日公布2024年年报分红，分配方案：10派0.50元(含税)[预案]更多>>

股东户数：2025年04月29日公布截止2025年03月31日股东户数117335户，比上期增加50427户更多>>

股东户数：2025年04月29日公布截止2024年12月31日股东户数66908户，比上期增加9635户更多>>

业绩报表：2025年一季报归属净利润1902万元，同比下降70.09%，基本每股收益0.027元更多>>

股权质押：截止2025年04月25日质押总比例12.45%，质押总股数4776.28万股，质押总笔数9笔更多>>

业绩预告：2025年04月23日预告，2024年年报净利润2000万元-3000万元，变动-94.7%～-92.05%更多>>

公告：2025年04月23日发布《至纯科技:关于2024年年度业绩预告更正公告》更多>>

股权质押：截止2025年04月18日质押总比例12.47%，质押总股数4784.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年04月12日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年04月11日质押总比例12.47%，质押总股数4784.44万股，质押总笔数10笔更多>>

龙虎榜：2025年04月07日因“有价格涨跌幅限制的日换手率达到20%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

机构调研：2025年04月03日披露公司于2025年01月01日接待51家机构调研更多>>

股权质押：截止2025年04月03日质押总比例12.47%，质押总股数4784.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年04月02日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》等2条公告更多>>

龙虎榜：2025年04月01日因“有价格涨跌幅限制的日换手率达到20%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

研报：2025年03月31日发布《业绩拐点将至》研报更多>>

龙虎榜：2025年03月31日因“有价格涨跌幅限制的日换手率达到20%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

公告：2025年03月29日发布《至纯科技:股票交易异常波动公告》等2条公告更多>>

龙虎榜：2025年03月28日因“非ST、*ST和S证券连续三个交易日内收盘价格涨幅偏离值累计达到20%的证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：截止2025年03月28日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

公告：2025年03月27日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年03月21日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2025年03月14日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2025年03月07日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

公告：2025年03月04日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

并购重组：上市公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买北京威顿国际贸易有限公司等24名交易对方持有的贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司83.7775%股份。更多>>

关联交易：2025年02月28日公布与北京威顿国际贸易有限公司等24名交易对方(其它关联关系)发生1笔交易，款项涉及资产收购更多>>

公告：2025年02月28日发布《至纯科技:董事会关于本次交易符合<上市公司监管指引第9号——上市公司筹划和实施重大资产重组的监管要求>第四条规定的说明》等17条公告更多>>

股权质押：截止2025年02月28日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

公告：2025年02月22日发布《至纯科技:关于筹划发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金事项的停牌进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年02月21日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

停牌日期：因拟筹划重大资产重组连续停牌，2025年02月17日 9:30-2025年02月27日 15:00停牌更多>>

股权质押：蒋渊于2025-02-11解除质押570万股，占所持股比例为6.59%，占总股本比1.49%，剩余质押3826万股(该笔质押起始日2024-02-22)更多>>

股权质押：蒋渊自2025-02-12起质押566万股，占所持股比例为6.54%，占总股本比1.48%，累计质押3826万股，占所持股比例为44.23%，占总股本比9.97%更多>>

股权质押：蒋渊自2025-02-10起质押600万股，占所持股比例为6.94%，占总股本比1.56%，累计质押3826万股，占所持股比例为44.23%，占总股本比9.97%更多>>

股权质押：蒋渊于2025-02-13解除质押596万股，占所持股比例为6.89%，占总股本比1.55%，剩余质押3826万股(该笔质押起始日2024-02-22)更多>>

公告：2025年02月15日发布《至纯科技:关于筹划发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金事项的停牌公告》等3条公告更多>>

股权质押：截止2025年02月14日质押总比例12.64%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2025年02月12日因回购原因发生股本变动更多>>

公告：2025年02月12日发布《至纯科技:关于注销部分已回购股份的实施公告》更多>>

公告：2025年02月11日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

公告：2025年02月08日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

公告：2025年02月07日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》等2条公告更多>>

股权质押：截止2025年02月07日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2025年01月27日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年01月25日发布《至纯科技:关于2024年度新增订单情况的公告》等3条公告更多>>

业绩预告：2025年01月25日预告，2024年年报净利润9000万元-13500万元，变动-76.14%～-64.22%更多>>

股权质押：截止2025年01月24日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年01月23日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

大宗交易：2025年01月20日共有1笔大宗交易，成交量126.19万股，成交额2758.51万元更多>>

股权质押：截止2025年01月17日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年01月15日发布《至纯科技:高级管理人员集中竞价减持股份计划公告》等2条公告更多>>

股权质押：截止2025年01月10日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

公告：2025年01月03日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

股权质押：截止2025年01月03日质押总比例12.56%，质押总股数4850.44万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：蒋渊于2024-12-30解除质押1060万股，占所持股比例为12.25%，占总股本比2.74%，剩余质押3826万股(共解除3笔质押，起始日2023-11-24,2022-11-28,2022-05-05)更多>>

公告：2025年01月02日发布《至纯科技:关于股东部分股份质押及解除质押的公告》等2条公告更多>>

股权质押：蒋渊自2024-12-26起质押1700万股，占所持股比例为19.65%，占总股本比4.40%，累计质押3826万股，占所持股比例为44.23%，占总股本比9.91%更多>>

大宗交易：2024年12月31日共有1笔大宗交易，成交量109万股，成交额2588.75万元更多>>

公告：2024年12月28日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年12月27日质押总比例16.05%，质押总股数6199.44万股，质押总笔数13笔更多>>

大宗交易：2024年12月26日共有1笔大宗交易，成交量184万股，成交额4327.68万元更多>>

公告：2024年12月25日发布《至纯科技:关于注销回购股份并减少注册资本通知债权人的公告》更多>>

并购重组：截至本公告披露日,公司已完成首期出资2,550万元,上海至衍已完成首期出资25万元。现部分合伙人变更出资结构:1、普通合伙人上海至衍增加出资额50万元,增资完成后上海至衍认缴出资额100万元;2、有限合伙人江苏锦汇集团有限公司将其认缴的2,400万元基金财产份额转让给启东汇创投资控股有限公司(以下简称“启东汇创投资”)。更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”)全资子公司上海至衍私募基金管理有限公司(以下简称“至衍基金”)与公司、启东金北翼母基金投资合伙企业(有限合伙)、江苏锦汇集团有限公司共同设立产业投资基金,基金名称为南通至远启行半导体产业投资基金(有限合伙)(以下简称“南通至远”,具体名称以工商行政管理部门最终核准登记为准)。南通至远基金募集规模为1亿元人民币,公司投资5050万元人民币,至衍基金作为南通至远的普通合伙人及执行事务合伙人出资50万元人民币。更多>>

公告：2024年12月24日发布《至纯科技:上海市锦天城律师事务所关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2024年第三次临时股东会的法律意见书》等3条公告更多>>

股东大会：于2024-12-23召开2024年第三次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2024年12月20日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2024年12月19日共有1笔大宗交易，成交量176万股，成交额4081.44万元更多>>

公告：2024年12月17日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

公告：2024年12月14日发布《至纯科技:上海市锦天城律师事务所关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司实施第一期员工持股计划的法律意见书》更多>>

股权质押：截止2024年12月13日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年12月06日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年12月06日发布《至纯科技:第五届监事会第九次会议决议公告》等6条公告更多>>

公告：2024年12月03日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年11月29日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年11月29日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年11月22日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年11月15日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年11月13日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年11月08日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年11月07日发布《至纯科技:关于归还暂时补充流动资金的募集资金的公告》更多>>

公告：2024年11月06日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

公告：2024年11月05日发布《至纯科技:关于股份回购进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年11月01日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年11月01日发布《至纯科技:关于以集中竞价方式回购股份的回购报告书》等2条公告更多>>

股东户数：2024年10月31日公布截止2024年09月30日股东户数57273户，比上期减少2800户更多>>

公告：2024年10月31日发布《至纯科技:国泰君安证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的核查意见》等13条公告更多>>

预约披露日：2024年第三季度季报预约2024年10月31日披露更多>>

业绩报表：2024年三季报归属净利润1.929亿元，同比下降1.64%，基本每股收益0.504元更多>>

关联交易：2024年10月31日公布与南通天使引导投资基金(有限合伙),南通科创投资集团有限公司,启东金北翼母基金投资合伙企业(有限合伙),启东创新发展投资合伙企业(有限合伙),上海至衍私募基金管理有限公司,蒋渊,陆磊,刘怡,张佩琼,刘荣华(其它关联关系)发生1笔交易，合计金额1.60亿元，款项涉及建立子公司更多>>

公告：2024年10月30日发布《至纯科技:关于归还暂时补充流动资金的募集资金的公告》更多>>

股票回购：截止目前已回购238.46万股，支付金额5992.68万元，成交最低价格24.20元，最高价格25.85元更多>>

公告：2024年10月29日发布《至纯科技:第五届董事会第八次会议决议公告》等3条公告更多>>

公告：2024年10月26日发布《至纯科技:关于股东部分股份质押的公告》更多>>

股权质押：陆龙英自2024-10-23起质押600万股，占所持股比例为48.00%，占总股本比1.55%，累计质押600万股，占所持股比例为48.00%，占总股本比1.55%更多>>

公告：2024年10月25日发布《至纯科技:关于股份回购实施结果暨股份变动的公告》更多>>

股权质押：截止2024年10月25日质押总比例11.65%，质押总股数4499.44万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2024年10月22日共有1笔大宗交易，成交量8.89万股，成交额210.87万元更多>>

股权质押：截止2024年10月18日质押总比例10.1%，质押总股数3899.44万股，质押总笔数11笔更多>>

公告：2024年10月18日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》等2条公告更多>>

大宗交易：2024年10月15日共有1笔大宗交易，成交量83.3万股，成交额1830.93万元更多>>

大宗交易：2024年10月14日共有1笔大宗交易，成交量10万股，成交额219.8万元更多>>

股权质押：截止2024年10月11日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年10月09日发布《至纯科技:关于以集中竞价交易方式回购公司股份的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年09月30日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年09月27日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

研报：2024年09月26日发布《公司深度报告：深耕高纯工艺系统，蓄力开拓湿法设备业务》研报更多>>

股权质押：截止2024年09月20日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年09月19日发布《至纯科技:关于回购股份事项前十名股东和前十名无限售条件股东持股信息的公告》更多>>

研报：2024年09月18日发布《公司信息更新报告：公司回购方案彰显信心，产能提升助力主营发展后劲》研报更多>>

公告：2024年09月13日发布《至纯科技:关于实际控制人增持公司股份情况的公告》等2条公告更多>>

高管持股：2024年09月13日公布2024年09月12日，蒋渊增持1笔，增持3.69万股更多>>

股权质押：截止2024年09月13日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年09月12日发布《至纯科技:第五届董事会第七次会议决议公告》等4条公告更多>>

公告：2024年09月11日发布《至纯科技:关于实际控制人增持公司股份情况的公告》更多>>

高管持股：2024年09月11日公布2024年09月10日，蒋渊增持1笔，增持50.01万股更多>>

股权质押：截止2024年09月06日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

股东户数：2024年08月31日公布截止2024年06月30日股东户数60073户，比上期减少3042户更多>>

公司投资：2024年08月31日公布截止2024年06月30日长期股权投资7家公司，共计2.74亿元，本报告期内损益-364.42万元更多>>

业绩报表：2024年中报归属净利润7374万元，同比下降32.19%，基本每股收益0.193元更多>>

预约披露日：2024年半年报预约2024年08月31日披露更多>>

公告：2024年08月31日发布《至纯科技:关于修订<公司章程>的公告》等7条公告更多>>

股权质押：截止2024年08月30日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2024年08月26日共有1笔大宗交易，成交量13万股，成交额245.96万元更多>>

股权质押：截止2024年08月23日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年08月20日发布《至纯科技:第五届监事会第四次会议决议公告》等3条公告更多>>

股权质押：截止2024年08月16日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

分红：2024年08月13日公布2023年年报分红，股权登记日：2024年08月16日；除权除息日：2024年08月19日；分配方案：10派1.934元(含税,扣税后1.7406元)[正式]更多>>

公告：2024年08月13日发布《至纯科技:2023年年度权益分派实施公告》等2条公告更多>>

公告：2024年08月10日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年08月09日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年08月07日发布《至纯科技:关于因公司股本变动调整2023年度利润分配方案每股现金分配比例的提示性公告》更多>>

股权质押：截止2024年08月02日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年08月01日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年07月26日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年07月19日质押总比例10.11%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

股本变动：2024年07月18日因回购原因发生股本变动更多>>

公告：2024年07月18日发布《至纯科技:关于2024年度“提质增效重回报”行动方案的公告》更多>>

公告：2024年07月16日发布《至纯科技:关于第三、四期股权激励部分限制性股票回购注销实施公告》等2条公告更多>>

股权质押：截止2024年07月12日质押总比例10.09%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2024年07月11日共有1笔大宗交易，成交量136.13万股，成交额3030.25万元更多>>

公告：2024年07月09日发布《至纯科技:众华会计师事务所(特殊普通合伙)对<关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2023年年度报告的信息披露监管工作函>中相关问题的专项说明》等2条公告更多>>

股权质押：截止2024年07月05日质押总比例10.09%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

公告：2024年07月04日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年06月28日质押总比例10.09%，质押总股数3905.56万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：蒋渊于2024-06-24解除质押920万股，占所持股比例为10.70%，占总股本比2.38%，剩余质押3186万股(共解除5笔质押，起始日2022-05-05,2021-05-12,2021-04-21,2020-12-16,2020-05-12)更多>>

公告：2024年06月26日发布《至纯科技:关于股东部分股份质押及解除质押的公告》等2条公告更多>>

股权质押：蒋渊自2024-06-19起质押960万股，占所持股比例为11.17%，占总股本比2.48%，累计质押3186万股，占所持股比例为37.06%，占总股本比8.23%更多>>

公告：2024年06月25日发布《至纯科技:2023年年度股东大会决议公告》等2条公告更多>>

股东大会：于2024-06-24召开2023年年度股东大会更多>>

股权质押：截止2024年06月21日质押总比例12.47%，质押总股数4825.56万股，质押总笔数14笔更多>>

公告：2024年06月21日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

公告：2024年06月18日发布《至纯科技:为子公司提供担保的进展公告》更多>>

股权质押：截止2024年06月14日质押总比例9.99%，质押总股数3865.56万股，质押总笔数13笔更多>>

机构调研：2024年06月13日披露公司于2024年05月01日接待13家机构调研更多>>

股权质押：截止2024年06月07日质押总比例9.91%，质押总股数3835.76万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年05月31日质押总比例9.91%，质押总股数3835.76万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年05月24日质押总比例9.91%，质押总股数3835.76万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年05月17日质押总比例9.94%，质押总股数3845.30万股，质押总笔数13笔更多>>

股东大会：于2024-05-16召开2024年第二次临时股东大会更多>>

研报：2024年05月14日发布《24年新增订单预计超55亿&各基地顺利启用，注入业绩发展动能》研报更多>>

股权质押：截止2024年05月10日质押总比例9.94%，质押总股数3845.30万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：蒋渊于2024-04-26解除质押1152万股，占所持股比例为13.40%，占总股本比2.98%，剩余质押3146万股(该笔质押起始日2022-05-05)更多>>

研报：2024年05月05日发布《2023年报&2024年一季报点评：业绩稳健增长，订单充沛未来可期》研报更多>>

关联交易：2024年04月30日公布与平湖波科激光有限公司(其它关联关系)发生5笔交易，合计金额678.60万元，款项涉及销售商品、租赁、购买商品更多>>

业绩报表：2024年一季报归属净利润6359万元，同比增长1.45%，基本每股收益0.166元更多>>

业绩报表：2023年年报归属净利润3.773亿元，同比增长33.58%，基本每股收益1.059元更多>>

预约披露日：2024年第一季度季报预约2024年04月30日披露更多>>

预约披露日：2023年年报预约2024年04月30日披露更多>>

公司投资：2024年04月30日公布截止2023年12月31日长期股权投资7家公司，共计2.77亿元，本报告期内损益1924.26万元更多>>

股权质押：截止2024年04月30日质押总比例9.94%，质押总股数3845.30万股，质押总笔数13笔更多>>

股东户数：2024年04月30日公布截止2024年03月31日股东户数63115户，比上期增加1893户更多>>

股东户数：2024年04月30日公布截止2023年12月31日股东户数61222户，比上期减少5572户更多>>

分红：2024年04月30日公布2023年年报分红，分配方案：10派1.934元(含税)[预案]更多>>

关联交易：2024年04月30日公布与平湖科谱激光科技有限公司(其它关联关系)发生3笔交易，合计金额133.43万元，款项涉及销售商品、租赁更多>>

关联交易：2024年04月30日公布与安徽科谱芯光科技有限公司(其它关联关系)发生2笔交易，合计金额8.49万元，款项涉及销售商品更多>>

关联交易：2024年04月30日公布与QPC Laser Inc.(其它关联关系)发生1笔交易，合计金额115.96万元，款项涉及购买商品更多>>

关联交易：2024年04月30日公布与上海江尚实业有限公司(其它关联关系)发生2笔交易，合计金额532.99万元，款项涉及租赁更多>>

股权质押：截止2024年04月26日质押总比例9.94%，质押总股数3845.30万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2024年04月19日质押总比例12.91%，质押总股数4997.30万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2024年04月12日质押总比例12.91%，质押总股数4997.30万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2024年04月03日质押总比例12.91%，质押总股数4997.30万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2024年03月29日质押总比例12.91%，质押总股数4997.30万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2024年03月22日质押总比例12.89%，质押总股数4989.14万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2024年03月15日质押总比例12.89%，质押总股数4989.14万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2024年03月08日质押总比例12.87%，质押总股数4980.98万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2024年03月01日质押总比例12.87%，质押总股数4980.98万股，质押总笔数12笔更多>>

股本变动：2024年02月29日因自主行权原因发生股本变动更多>>

股权质押：蒋渊于2024-02-26解除质押1064万股，占所持股比例为12.37%，占总股本比2.75%，剩余质押4298万股(共解除2笔质押，起始日2023-06-26,2023-02-27)更多>>

高管持股：2024年02月27日公布2024年02月22日，陆磊增持1笔，增持4.1928万股更多>>

股权质押：截止2024年02月23日质押总比例15.62%，质押总股数6044.68万股，质押总笔数14笔更多>>

股本变动：2024年02月19日因自主行权原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2024年02月08日质押总比例12.61%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股东大会：于2024-02-05召开2024年第一次临时股东大会更多>>

高管持股：2024年02月05日公布2024年02月02日，陆磊增持1笔，增持3.9672万股更多>>

股权质押：截止2024年02月02日质押总比例12.61%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

研报：2024年01月29日发布《2023年新增订单超130亿元，业绩成长未来可期》等2条研报更多>>

股权质押：截止2024年01月26日质押总比例12.61%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

业绩预告：2024年01月25日预告，2023年年报净利润42400万元-48000万元，变动50.12%～69.95%更多>>

股权质押：截止2024年01月19日质押总比例12.61%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2024年01月12日质押总比例12.61%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2024年01月05日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2023年12月29日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股东大会：于2023-12-25召开2023年第三次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2023年12月22日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2023年12月15日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2023年12月08日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2023年12月01日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

大宗交易：2023年11月27日共有1笔大宗交易，成交量130.12万股，成交额3135.94万元更多>>

股权质押：截止2023年11月24日质押总比例12.62%，质押总股数4878.68万股，质押总笔数13笔更多>>

研报：2023年11月17日发布《公司信息更新报告：2023Q3业绩环比提升，在手订单充沛看好后续成长》研报更多>>

股权质押：截止2023年11月17日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2023年11月10日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

高管持股：2023年11月07日公布2023年11月06日，蒋渊增持1笔，增持24万股更多>>

股权质押：截止2023年11月03日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

股东户数：2023年10月31日公布截止2023年09月30日股东户数66794户，比上期增加10697户更多>>

业绩报表：2023年三季报归属净利润1.961亿元，同比增长20.54%，基本每股收益0.564元更多>>

预约披露日：2023年第三季度季报预约2023年10月31日披露更多>>

研报：2023年10月30日发布《利润环比改善，湿法设备进展顺利》研报更多>>

股权质押：截止2023年10月27日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

高管持股：2023年10月25日公布2023年10月20日，蒋渊增持1笔，增持18.99万股更多>>

股权质押：截止2023年10月20日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2023年10月13日共有1笔大宗交易，成交量190万股，成交额5855.8万元更多>>

股权质押：截止2023年10月13日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2023年10月12日共有1笔大宗交易，成交量189.58万股，成交额5312.03万元更多>>

机构调研：2023年10月11日披露公司于2023年07月01日接待14家机构调研更多>>

研报：2023年10月06日发布《回购彰显信心》研报更多>>

股本变动：2023年09月30日因自主行权原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2023年09月28日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2023年09月22日共有1笔大宗交易，成交量190.8万股，成交额5143.97万元更多>>

股权质押：截止2023年09月22日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2023年09月15日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2023年09月08日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

研报：2023年09月04日发布《制程设备持续深入，加速布局电子材料及核心零部件》研报更多>>

研报：2023年09月03日发布《公司信息更新报告：2023H1营收稳定增长，湿法设备国产化有望加速》研报更多>>

股权质押：截止2023年09月01日质押总比例12.1%，质押总股数4678.68万股，质押总笔数12笔更多>>

高管持股：2023年08月30日公布2023年08月29日，蒋渊增持1笔，增持57.006万股更多>>

股东户数：2023年08月29日公布截止2023年06月30日股东户数56097户，比上期减少1496户更多>>

业绩报表：2023年中报归属净利润1.088亿元，同比增长33.67%，基本每股收益0.33元更多>>

预约披露日：2023年半年报预约2023年08月29日披露更多>>

公司投资：2023年08月29日公布截止2023年06月30日长期股权投资6家公司，共计2.97亿元，本报告期内损益878.81万元更多>>

大宗交易：2023年08月29日共有1笔大宗交易，成交量8万股，成交额212.24万元更多>>

大宗交易：2023年08月28日共有1笔大宗交易，成交量43.99万股，成交额1231.72万元更多>>

股权质押：截止2023年08月25日质押总比例12.07%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2023年08月22日因自主行权原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2023年08月18日质押总比例12.07%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2023年08月11日质押总比例12.07%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

龙虎榜：2023年08月04日因“有价格涨跌幅限制的日收盘价格跌幅偏离值达到7%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：截止2023年08月04日质押总比例12.07%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2023年07月28日质押总比例12.08%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2023年07月21日质押总比例12.09%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2023年07月14日质押总比例12.1%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

机构调研：2023年07月13日披露公司于2023年06月01日接待14家机构调研更多>>

研报：2023年07月09日发布《国内领先的高纯工艺系统供应商，半导体制程设备开启新成长曲线》研报更多>>

股权质押：截止2023年07月07日质押总比例12.1%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2023年06月30日质押总比例12.1%，质押总股数4669.14万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：蒋渊于2023-06-20解除质押500万股，占所持股比例为5.88%，占总股本比1.30%，剩余质押3996万股(该笔质押起始日2021-04-21)更多>>

股东大会：于2023-06-26召开2023年第二次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2023年06月21日质押总比例11.45%，质押总股数4416.64万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年06月16日质押总比例12.75%，质押总股数4916.64万股，质押总笔数10笔更多>>

限售解禁日：2023年06月13日有388800.00股可流通上市更多>>

股本变动：2023年06月13日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2023年06月09日质押总比例12.75%，质押总股数4916.64万股，质押总笔数10笔更多>>

机构调研：2023年06月05日披露公司于2023年04月01日接待50家机构调研更多>>

股本变动：2023年06月05日因送股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2023年06月02日质押总比例12.75%，质押总股数4916.64万股，质押总笔数10笔更多>>

分红：2023年05月30日公布2022年年报分红，股权登记日：2023年06月02日；除权除息日：2023年06月05日；分配方案：10送2.00派1.3216元(含税,扣税后0.9894元)[正式]更多>>

股权质押：截止2023年05月26日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

大宗交易：2023年05月19日共有1笔大宗交易，成交量34万股，成交额1394.34万元更多>>

股权质押：截止2023年05月19日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

大宗交易：2023年05月12日共有1笔大宗交易，成交量25.8万股，成交额997.69万元更多>>

股权质押：截止2023年05月12日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年05月05日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

研报：2023年05月03日发布《2023年一季报点评：订单加速验收，业绩实现快速增长》研报更多>>

股东户数：2023年04月29日公布截止2023年03月31日股东户数57593户，比上期增加9381户更多>>

业绩报表：2023年一季报归属净利润6268万元，同比增长186.28%，基本每股收益0.197元更多>>

预约披露日：2023年第一季度季报预约2023年04月29日披露更多>>

股权质押：截止2023年04月28日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股东大会：于2023-04-28召开2022年年度股东大会更多>>

大宗交易：2023年04月27日共有1笔大宗交易，成交量32万股，成交额1325.12万元更多>>

大宗交易：2023年04月26日共有1笔大宗交易，成交量42万股，成交额1691.76万元更多>>

大宗交易：2023年04月24日共有1笔大宗交易，成交量16万股，成交额681.6万元更多>>

股东大会：于2023-04-24召开2023年第一次临时股东大会更多>>

大宗交易：2023年04月21日共有1笔大宗交易，成交量35万股，成交额1520.05万元更多>>

股权质押：截止2023年04月21日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

限售解禁日：2023年04月18日有120000.00股可流通上市更多>>

股本变动：2023年04月18日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

研报：2023年04月14日发布《年报点评：订单饱满营收高速增长，半导体业务多足发力逐步到收获期》研报更多>>

股权质押：截止2023年04月14日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

大宗交易：2023年04月13日共有1笔大宗交易，成交量129.1万股，成交额6071.57万元更多>>

研报：2023年04月10日发布《海外制裁影响短期业绩，持续看好制程设备发展》等3条研报更多>>

分红：2023年04月08日公布2022年年报分红，分配方案：10送2.00派1.324元(含税)[预案]更多>>

业绩报表：2022年年报归属净利润2.824亿元，同比增长0.24%，基本每股收益0.889元更多>>

预约披露日：2022年年报预约2023年04月08日披露更多>>

公司投资：2023年04月08日公布截止2022年12月31日长期股权投资5家公司，共计2.74亿元，本报告期内损益2320.72万元更多>>

关联交易：2023年04月08日公布与上海江尚实业有限公司(其它关联关系)发生2笔交易，合计金额356.66万元，款项涉及租赁更多>>

关联交易：2023年04月08日公布与QPC Laser Inc.(兄弟公司)发生2笔交易，合计金额117.47万元，款项涉及购买商品更多>>

关联交易：2023年04月08日公布与平湖科谱激光科技有限公司(其它关联关系)发生5笔交易，合计金额223.59万元，款项涉及购买商品、销售商品、租赁更多>>

关联交易：2023年04月08日公布与平湖波科激光有限公司(其它关联关系)发生6笔交易，合计金额242.31万元，款项涉及销售商品、购买商品、租赁更多>>

股东户数：2023年04月08日公布截止2022年12月31日股东户数48212户，比上期减少1206户更多>>

研报：2023年04月08日发布《2022年报点评：下游扩产放缓影响半导体设备交付，多品类布局打开成长空间》研报更多>>

股权质押：截止2023年04月07日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年03月31日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年03月24日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

机构调研：2023年03月17日披露公司于2023年02月01日接待33家机构调研更多>>

股权质押：截止2023年03月17日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年03月10日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2023年03月03日质押总比例12.74%，质押总股数4097.20万股，质押总笔数10笔更多>>

大宗交易：2023年03月01日共有1笔大宗交易，成交量17万股，成交额624.92万元更多>>

高管持股：2023年02月28日公布2023年02月27日，沈一林等共增持2笔，共增持8万股更多>>

大宗交易：2023年02月27日共有2笔大宗交易信息，总成交量114.66万股，总成交额3898.44万元更多>>

股本变动：2023年02月27日因限制性股票原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2023年02月24日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2023年02月17日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2023年02月10日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

机构调研：2023年02月09日披露公司于2022年12月01日接待26家机构调研更多>>

高管持股：2023年02月08日公布2023年02月07日，赵浩减持1笔，减持100万股更多>>

大宗交易：2023年02月07日共有1笔大宗交易，成交量100万股，成交额3497万元更多>>

股权质押：截止2023年02月03日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2023年01月20日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

高管持股：2023年01月20日公布2023年01月19日，赵浩减持1笔，减持70万股更多>>

大宗交易：2023年01月19日共有2笔大宗交易信息，总成交量70万股，总成交额2376.5万元更多>>

高管持股：2023年01月18日公布2023年01月17日，赵浩减持1笔，减持27万股更多>>

大宗交易：2023年01月17日共有1笔大宗交易，成交量27万股，成交额893.7万元更多>>

股权质押：截止2023年01月13日质押总比例10.64%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

高管持股：2023年01月13日公布2023年01月12日，赵浩减持1笔，减持27.9万股更多>>

大宗交易：2023年01月12日共有1笔大宗交易，成交量27.9万股，成交额898.38万元更多>>

股本变动：2023年01月12日因自主行权原因发生股本变动更多>>

高管持股：2023年01月11日公布2023年01月09日，赵浩减持1笔，减持26万股更多>>

大宗交易：2023年01月09日共有1笔大宗交易，成交量26万股，成交额866.32万元更多>>

股权质押：截止2023年01月06日质押总比例10.65%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股本变动：2022年12月31日因自主行权原因发生股本变动更多>>

大宗交易：2022年12月30日共有1笔大宗交易，成交量11万股，成交额384.67万元更多>>

股权质押：截止2022年12月30日质押总比例10.66%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股东大会：于2022-12-26召开2022年第五次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2022年12月23日质押总比例10.66%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年12月16日质押总比例10.66%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

大宗交易：2022年12月15日共有1笔大宗交易，成交量27.82万股，成交额1171.22万元更多>>

研报：2022年12月11日发布《拟非公开募集不超过18亿元，布局炉管、涂胶显影设备等打开成长空间》研报更多>>

股权质押：截止2022年12月09日质押总比例10.66%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

研报：2022年12月05日发布《公司首次覆盖报告：国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，前景可期》研报更多>>

股东大会：于2022-12-05召开2022年第四次临时股东大会更多>>

机构调研：2022年12月05日披露公司于2022年11月01日接待27家机构调研更多>>

大宗交易：2022年12月02日共有1笔大宗交易，成交量17万股，成交额709.07万元更多>>

股权质押：截止2022年12月02日质押总比例10.66%，质押总股数3421.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：蒋渊于2022-11-30解除质押500万股，占所持股比例为7.06%，占总股本比1.56%，剩余质押2860万股(该笔质押起始日2021-04-21)更多>>

股权质押：截止2022年11月25日质押总比例10.36%，质押总股数3321.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年11月18日质押总比例10.36%，质押总股数3321.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年11月11日质押总比例10.54%，质押总股数3376.20万股，质押总笔数9笔更多>>

研报：2022年11月04日发布《营收增速显著回升，业务多元化进展显著》研报更多>>

股权质押：截止2022年11月04日质押总比例10.55%，质押总股数3376.20万股，质押总笔数9笔更多>>

研报：2022年10月31日发布《订单持续高增长，募投项目布局零部件》研报更多>>

研报：2022年10月30日发布《2022年三季报点评：半导体清洗设备订单加速确认，Q3业绩超市场预期》研报更多>>

股东户数：2022年10月29日公布截止2022年09月30日股东户数49418户，比上期减少7645户更多>>

业绩报表：2022年三季报归属净利润1.627亿元，同比下降13.55%，基本每股收益0.51元更多>>

预约披露日：2022年第三季度季报预约2022年10月29日披露更多>>

股权质押：截止2022年10月28日质押总比例10.55%，质押总股数3376.20万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年10月21日质押总比例10.52%，质押总股数3366.00万股，质押总笔数7笔更多>>

股本变动：2022年10月21日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2022年10月21日有327000.00股可流通上市更多>>

股权质押：截止2022年10月14日质押总比例10.67%，质押总股数3416.00万股，质押总笔数8笔更多>>

机构调研：2022年10月12日披露公司于2022年09月01日接待29家机构调研更多>>

龙虎榜：2022年10月11日因“非ST、*ST和S证券连续三个交易日内收盘价格跌幅偏离值累计达到20%的证券”等披露龙虎榜信息更多>>

龙虎榜：2022年10月10日因“有价格涨跌幅限制的日收盘价格跌幅偏离值达到7%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：蒋渊于2022-09-29解除质押100万股，占所持股比例为1.41%，占总股本比0.31%，剩余质押2760万股(共解除2笔质押，起始日2021-05-12,2020-09-11)更多>>

股权质押：截止2022年09月30日质押总比例10.67%，质押总股数3416.00万股，质押总笔数8笔更多>>

股本变动：2022年09月28日因自主行权原因发生股本变动更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”)作为有限合伙人出资500万元人民币参与上海浚势创业投资合伙企业(有限合伙)(以下简称“上海浚势”、“合伙企业”)。上海浚势基金募集规模为30,000万元人民币,基金管理人、普通合伙人和执行事务合伙人均为宁波联创永浚投资管理有限公司(以下简称“宁波联创”)。更多>>

股权质押：截止2022年09月23日质押总比例10.99%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

高管持股：2022年09月22日公布2022年09月21日，沈一林增持1笔，增持5.1万股更多>>

高管持股：2022年09月21日公布2022年09月20日，陆磊增持1笔，增持5.1万股更多>>

股权质押：截止2022年09月16日质押总比例11%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

研报：2022年09月15日发布《低估的半导体清洗设备龙头，布局零部件和服务业务寻求新增长点》研报更多>>

大宗交易：2022年09月15日共有1笔大宗交易，成交量37.8万股，成交额1436.4万元更多>>

股权质押：截止2022年09月09日质押总比例11%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

研报：2022年09月04日发布《营收保持较快增长，制程设备驶入快车道》研报更多>>

研报：2022年09月02日发布《业绩稳步增长，IC领域进展顺利》研报更多>>

股权质押：截止2022年09月02日质押总比例11%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

研报：2022年08月31日发布《2022年中报点评：半导体清洗设备放量带动收入端稳健增长，扣非净利率显著提升》研报更多>>

业绩报表：2022年中报归属净利润8136万元，同比下降45.92%，基本每股收益0.256元更多>>

预约披露日：2022年半年报预约2022年08月31日披露更多>>

公司投资：2022年08月31日公布截止2022年06月30日长期股权投资5家公司，共计2.28亿元，本报告期内损益200.98万元更多>>

并购重组：公司拟出资15,000万元参与投资天津海河至汇光电创业投资合伙企业(有限合伙)(以下简称“海河至汇”或“合伙企业”),海河至汇的认缴出资总额为38,000万元,存续期内可增加至不超过120,000万元,主要投向光电子及泛半导体相关领域。更多>>

股东户数：2022年08月31日公布截止2022年06月30日股东户数57063户，比上期减少1706户更多>>

股权质押：截止2022年08月26日质押总比例11%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2022年08月19日质押总比例11%，质押总股数3516.00万股，质押总笔数10笔更多>>

股东大会：于2022-08-18召开2022年第三次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2022年08月12日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2022年08月05日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2022年08月05日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2022年08月05日有100000.00股可流通上市更多>>

股权质押：截止2022年07月29日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2022年07月22日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

限售解禁日：2022年07月18日有120000.00股可流通上市更多>>

股本变动：2022年07月18日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2022年07月15日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2022年07月08日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2022年07月08日因回购原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2022年07月01日质押总比例11.22%，质押总股数3586.00万股，质押总笔数11笔更多>>

研报：2022年06月30日发布《湿法设备进入收获季，高纯工艺受益泛半导体》研报更多>>

股权质押：截止2022年06月24日质押总比例11.35%，质押总股数3626.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2022年06月17日质押总比例11.5%，质押总股数3676.00万股，质押总笔数11笔更多>>

高管持股：2022年06月13日公布2022年06月10日，陆磊等共增持2笔，共增持40万股更多>>

股权质押：截止2022年06月10日质押总比例11.5%，质押总股数3676.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2022年06月10日因限制性股票原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2022年06月02日质押总比例11.54%，质押总股数3676.00万股，质押总笔数11笔更多>>

研报：2022年05月27日发布《年报点评：半导体设备高速增长，晶圆再生业务有望发力》研报更多>>

股权质押：截止2022年05月27日质押总比例11.54%，质押总股数3676.00万股，质押总笔数11笔更多>>

股东大会：于2022-05-26召开2021年年度股东大会更多>>

股权质押：截止2022年05月20日质押总比例10.86%，质押总股数3460.00万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2022年05月13日质押总比例10.86%，质押总股数3460.00万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2022年05月06日质押总比例10.86%，质押总股数3460.00万股，质押总笔数10笔更多>>

股东大会：于2022-05-06召开2022年第二次临时股东大会更多>>

研报：2022年05月05日发布《受益行业高景气+国产替代，收入、订单高增长》研报更多>>

研报：2022年05月04日发布《2021年报&2022年一季报点评：半导体湿法设备加速放量，收入端实现高速增长》研报更多>>

研报：2022年04月30日发布《21年业绩符合预期，22Q1亮眼开局》研报更多>>

业绩报表：2021年年报归属净利润2.818亿元，同比增长8.12%，基本每股收益0.891元更多>>

业绩报表：2022年一季报归属净利润2189万元，同比下降70.78%，基本每股收益0.069元更多>>

预约披露日：2021年年报预约2022年04月30日披露更多>>

预约披露日：2022年第一季度季报预约2022年04月30日披露更多>>

公司投资：2022年04月30日公布截止2021年12月31日长期股权投资6家公司，共计2.06亿元，本报告期内损益1355.84万元更多>>

关联交易：2022年04月30日公布与上海江尚实业有限公司(其它关联关系)发生2笔交易，合计金额219.43万元，款项涉及租赁更多>>

关联交易：2022年04月30日公布与QPC Laser Inc.(兄弟公司)发生2笔交易，合计金额75.94万元，款项涉及购买商品更多>>

关联交易：2022年04月30日公布与平湖科谱激光科技有限公司(其它关联关系)发生4笔交易，合计金额496.67万元，款项涉及销售商品、租赁更多>>

关联交易：2022年04月30日公布与平湖波科激光有限公司(其它关联关系)发生6笔交易，合计金额355.10万元，款项涉及租赁、购买商品、销售商品更多>>

股东户数：2022年04月30日公布截止2022年03月31日股东户数58769户，比上期减少6931户更多>>

股东户数：2022年04月30日公布截止2021年12月31日股东户数65700户，比上期增加23270户更多>>

股权质押：截止2022年04月29日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年04月22日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年04月15日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年04月08日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年04月01日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

限售解禁日：2022年03月31日有9647235.00股可流通上市更多>>

股本变动：2022年03月31日因网下配售股份上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2022年03月25日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年03月18日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年03月11日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年03月04日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股东大会：于2022-02-28召开2022年第一次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2022年02月25日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年02月18日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年02月11日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”)作为有限合伙人出资1000万元人民币参与上海紫竹小苗朗锐私募投资基金合伙企业(有限合伙)(以下简称“小苗朗锐”)。小苗朗锐基金募集规模为3亿元人民币,小苗朗锐普通合伙人、执行事务合伙人、管理人均为上海小苗朗程投资管理有限公司(以下简称“小苗朗程”),其委派代表为梁剑明。更多>>

股权质押：截止2022年01月28日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2022年01月21日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

高管持股：2022年01月18日公布2022年01月17日，赵浩减持1笔，减持20万股更多>>

大宗交易：2022年01月17日共有2笔大宗交易信息，总成交量20万股，总成交额877.8万元更多>>

股权质押：截止2022年01月14日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：蒋渊于2022-01-07解除质押600万股，占所持股比例为8.47%，占总股本比1.88%，剩余质押1560万股(该笔质押起始日2020-05-12)更多>>

股权质押：截止2022年01月07日质押总比例6.78%，质押总股数2160.00万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2021年12月31日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

股东大会：于2021-12-31召开2021年第五次临时股东大会更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”、“至纯科技”)控股子公司至微半导体(上海)有限公司(以下简称“至微科技”)拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为42,000万元(其中上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)(以下简称“芯晟至远”)增资额为2,000万元),股权转让涉及金额23,200万元。本次交易完成前,公司持有至微科技的股份比例为99.34%,本次交易完成后,公司持有至微科技的股份比例为77.11%。更多>>

关联交易：2021年12月29日公布与天津海河至汇光电创业投资合伙企业(有限合伙)(其它关联关系)发生1笔交易，合计金额1.50亿元，款项涉及其他交易更多>>

股权质押：截止2021年12月24日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”或“本公司”)于2021年10月出资1000万元设立全资子公司上海至衍私募基金管理有限公司。更多>>

龙虎榜：2021年12月17日因“有价格涨跌幅限制的日收盘价格跌幅偏离值达到7%的前五只证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：截止2021年12月17日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

股权质押：截止2021年12月10日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

高管持股：2021年12月07日公布2021年12月06日，赵浩减持1笔，减持1.61万股更多>>

高管持股：2021年12月06日公布2021年12月03日，赵浩减持1笔，减持3.99万股更多>>

股权质押：截止2021年12月03日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

高管持股：2021年12月03日公布2021年12月02日，赵浩减持1笔，减持8.89万股更多>>

高管持股：2021年12月02日公布2021年12月01日，赵浩减持1笔，减持24.5736万股更多>>

高管持股：2021年12月02日公布2021年11月29日，赵浩减持1笔，减持18.6181万股更多>>

高管持股：2021年12月02日公布2021年11月30日，赵浩减持1笔，减持18万股更多>>

股东大会：于2021-11-30召开2021年第四次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2021年11月26日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

高管持股：2021年11月26日公布2021年11月25日，赵浩减持1笔，减持30.5万股更多>>

高管持股：2021年11月25日公布2021年11月24日，赵浩减持1笔，减持13.7403万股更多>>

高管持股：2021年11月24日公布2021年11月23日，赵浩减持1笔，减持1.5万股更多>>

高管持股：2021年11月23日公布2021年11月22日，赵浩减持1笔，减持21.82万股更多>>

限售解禁日：2021年11月22日有250000.00股可流通上市更多>>

股本变动：2021年11月22日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2021年11月19日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

高管持股：2021年11月17日公布2021年11月16日，赵浩减持1笔，减持28.92万股更多>>

高管持股：2021年11月16日公布2021年11月15日，赵浩等共减持2笔，共减持10.72万股更多>>

股东大会：于2021-11-15召开2021年第三次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2021年11月12日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

高管持股：2021年11月12日公布2021年11月10日，赵浩减持1笔，减持23万股更多>>

高管持股：2021年11月12日公布2021年11月09日，赵浩减持1笔，减持54万股更多>>

高管持股：2021年11月12日公布2021年11月11日，赵浩减持1笔，减持11万股更多>>

高管持股：2021年11月12日公布2021年11月12日，赵浩减持1笔，减持46.42万股更多>>

研报：2021年11月05日发布《盈利能力稳步提升，湿法清洗设备加速发展》研报更多>>

股权质押：截止2021年11月05日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

研报：2021年11月01日发布《2021年三季报业绩点评：业绩符合预期，大基金二期拟入股子公司》研报更多>>

研报：2021年10月31日发布《业绩符合预期，盈利能力提升》研报更多>>

股东户数：2021年10月30日公布截止2021年09月30日股东户数42430户，比上期增加2162户更多>>

业绩报表：2021年三季报归属净利润1.882亿元，同比增长127.96%，基本每股收益0.596元更多>>

预约披露日：2021年第三季度季报预约2021年10月30日披露更多>>

股权质押：截止2021年10月29日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

研报：2021年10月25日发布《大基金二期入股至微科技，产业助力清洗设备快速发展》研报更多>>

股权质押：截止2021年10月22日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

大宗交易：2021年10月18日共有1笔大宗交易，成交量13.45万股，成交额600.17万元更多>>

股权质押：截止2021年10月15日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

大宗交易：2021年10月13日共有1笔大宗交易，成交量5.2万股，成交额203.68万元更多>>

股权质押：截止2021年10月08日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

股权质押：截止2021年09月30日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

限售解禁日：2021年09月27日有245250.00股可流通上市更多>>

股本变动：2021年09月27日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2021年09月24日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

大宗交易：2021年09月23日共有1笔大宗交易，成交量9.1万股，成交额390.21万元更多>>

股权质押：蒋渊于2021-09-14解除质押313万股，占所持股比例为4.42%，占总股本比0.98%，剩余质押2160万股(该笔质押起始日2019-05-14)更多>>

股权质押：截止2021年09月17日质押总比例8.45%，质押总股数2690.00万股，质押总笔数8笔更多>>

研报：2021年09月15日发布《技术不断突破，订单高增长》研报更多>>

大宗交易：2021年09月15日共有1笔大宗交易，成交量9.4万股，成交额427.51万元更多>>

股权质押：截止2021年09月10日质押总比例9.43%，质押总股数3002.99万股，质押总笔数9笔更多>>

股东大会：于2021-09-09召开2021年第二次临时股东大会更多>>

大宗交易：2021年09月08日共有1笔大宗交易，成交量6.7万股，成交额298.15万元更多>>

股权质押：蒋渊于2021-09-06解除质押330万股，占所持股比例为4.66%，占总股本比1.04%，剩余质押2473万股(该笔质押起始日2020-05-12)更多>>

股权质押：截止2021年09月03日质押总比例10.46%，质押总股数3332.99万股，质押总笔数11笔更多>>

研报：2021年09月02日发布《半导体业务稳步发展，打造装备及材料供应商》研报更多>>

研报：2021年09月01日发布《2021年中报点评：业绩符合市场预期，半导体业务拓展顺利》等3条研报更多>>

股东户数：2021年08月31日公布截止2021年06月30日股东户数40268户，比上期增加740户更多>>

业绩报表：2021年中报归属净利润1.505亿元，同比增长395.51%，基本每股收益0.478元更多>>

预约披露日：2021年半年报预约2021年08月31日披露更多>>

公司投资：2021年08月31日公布截止2021年06月30日长期股权投资5家公司，共计1.59亿元，本报告期内损益-335.26万元更多>>

股权质押：截止2021年08月27日质押总比例10.46%，质押总股数3332.99万股，质押总笔数11笔更多>>

研报：2021年08月26日发布《深度报告：厚积薄发，发力湿法设备快车道》研报更多>>

股权质押：截止2021年08月20日质押总比例10.46%，质押总股数3332.99万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2021年08月13日质押总比例10.46%，质押总股数3332.99万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：蒋渊于2021-08-06解除质押165万股，占所持股比例为2.33%，占总股本比0.52%，剩余质押2803万股(该笔质押起始日2020-12-04)更多>>

股权质押：截止2021年08月06日质押总比例10.46%，质押总股数3332.99万股，质押总笔数11笔更多>>

股本变动：2021年08月06日因回购原因发生股本变动更多>>

高管关联人持股：2021年07月31日公布2021年07月30日有1笔高管关联人员减持，减持152.3万股更多>>

股权质押：截止2021年07月30日质押总比例10.98%，质押总股数3497.99万股，质押总笔数12笔更多>>

大宗交易：2021年07月30日共有2笔大宗交易信息，总成交量152.3万股，总成交额8767.91万元更多>>

高管关联人持股：2021年07月29日公布2021年07月28日有1笔高管关联人员减持，减持447.7万股更多>>

大宗交易：2021年07月28日共有2笔大宗交易信息，总成交量324.7万股，总成交额16592.17万元更多>>

龙虎榜：2021年07月27日因“有价格涨跌幅限制的日价格振幅达到15%的前三只证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：截止2021年07月23日质押总比例10.98%，质押总股数3497.99万股，质押总笔数12笔更多>>

股本变动：2021年07月23日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2021年07月23日有100000.00股可流通上市更多>>

大宗交易：2021年07月23日共有1笔大宗交易，成交量123万股，成交额6586.65万元更多>>

股权质押：截止2021年07月16日质押总比例10.98%，质押总股数3497.99万股，质押总笔数12笔更多>>

分红：2021年07月13日公布2020年年报分红，股权登记日：2021年07月16日；除权除息日：2021年07月19日；分配方案：10派1.6363元(含税,扣税后1.4727元)[正式]更多>>

股权质押：截止2021年07月09日质押总比例10.98%，质押总股数3497.99万股，质押总笔数12笔更多>>

股本变动：2021年07月09日因网下配售股份上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2021年07月09日有47749661.00股可流通上市更多>>

研报：2021年07月06日发布《国产替代趋势下，半导体湿法清洗设备迎增长机遇》研报更多>>

股权质押：蒋渊于2021-07-01解除质押50万股，占所持股比例为0.71%，占总股本比0.16%，剩余质押2968万股(该笔质押起始日2020-08-28)更多>>

股权质押：截止2021年07月02日质押总比例10.98%，质押总股数3497.99万股，质押总笔数12笔更多>>

并购重组：公司投资5,000万元,参与成立合肥溯慈企业管理合伙企业(有限合伙)(以下简称“合肥溯慈”),合肥溯慈的认缴出资额专项用于认购合肥石溪产恒二期集成电路创业投资基金合伙企业(有限合伙)(以下简称“石溪产恒二期”,尚未在基金业协会备案)。石溪产恒二期募集规模80,100万元,普通合伙人及基金管理人为北京石溪清流投资有限公司(以下简称“北京石溪清流”)。近日,合肥溯慈完成了石溪产恒二期合伙协议的签署,认缴出资额为20,700万元人民币。更多>>

股权质押：截止2021年06月25日质押总比例10.86%，质押总股数3457.99万股，质押总笔数14笔更多>>

高管持股：2021年06月23日公布2021年06月22日，沈一林增持1笔，增持5.1万股更多>>

高管持股：2021年06月22日公布2021年06月21日，陆磊等共增持2笔，共增持7.5万股更多>>

股本变动：2021年06月21日因自主行权原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2021年06月18日质押总比例10.87%，质押总股数3457.99万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2021年06月11日质押总比例10.87%，质押总股数3457.99万股，质押总笔数14笔更多>>

大宗交易：2021年06月11日共有1笔大宗交易，成交量150万股，成交额5499万元更多>>

股权质押：截止2021年06月04日质押总比例10.87%，质押总股数3457.99万股，质押总笔数14笔更多>>

股东增减持日：2021年06月02日公布2021年05月24日至2021年05月24日，股东陈银柱增持1笔，增持0.03万股更多>>

股东增减持日：2021年06月02日公布2021年05月27日至2021年05月27日，股东陈银柱减持1笔，减持0.03万股更多>>

股权质押：截止2021年05月28日质押总比例10.87%，质押总股数3457.99万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2021年05月21日质押总比例10.65%，质押总股数3387.99万股，质押总笔数13笔更多>>

股东大会：于2021-05-20召开2020年年度股东大会更多>>

限售解禁日：2021年05月17日有7046469.00股可流通上市更多>>

股本变动：2021年05月17日因网下配售股份上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2021年05月14日质押总比例10.65%，质押总股数3387.99万股，质押总笔数13笔更多>>

股东户数：2021年05月11日公布截止2021年03月30日股东户数39528户，比上期增加1303户更多>>

研报：2021年05月10日发布《2020年年报及2021年一季报点评：在手订单保持增长，半导体板块是重点发力领域》研报更多>>

股权质押：截止2021年05月07日质押总比例10.21%，质押总股数3247.99万股，质押总笔数11笔更多>>

分红：2021年04月30日公布2020年年报分红，分配方案：10派1.6363元(含税)[预案]更多>>

业绩报表：2020年年报归属净利润2.606亿元，同比增长136.36%，基本每股收益1.013元更多>>

业绩报表：2021年一季报归属净利润7492万元，同比增长605.28%，基本每股收益0.239元更多>>

预约披露日：2020年年报预约2021年04月30日披露更多>>

预约披露日：2021年第一季度季报预约2021年04月30日披露更多>>

公司投资：2021年04月30日公布截止2020年12月31日长期股权投资4家公司，共计1.67亿元，本报告期内损益1006.52万元更多>>

关联交易：2021年04月30日公布与上海江尚实业有限公司(其它关联关系)发生1笔交易，款项涉及租赁更多>>

关联交易：2021年04月30日公布与QPC Laser Inc.(兄弟公司)发生1笔交易，合计金额396.94万元，款项涉及购买商品更多>>

关联交易：2021年04月30日公布与平湖科谱激光科技有限公司(其它关联关系)发生3笔交易，合计金额55.80万元，款项涉及租赁、销售商品更多>>

关联交易：2021年04月30日公布与平湖波科激光有限公司(其它关联关系)发生5笔交易，合计金额735.14万元，款项涉及提供劳务、租赁、购买商品、销售商品更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“至纯科技”或“公司”)与宁波宇杉投资管理有限公司(以下简称“宁波宇杉”)共同投资名为“宁波宇微行至创业投资合伙企业(有限合伙)”的私募股权投资基金(以下简称“宁波宇微”)。公司以有限合伙人身份拟使用自有资金出资人民币5,000.00万元。更多>>

股权质押：截止2021年04月30日质押总比例10.21%，质押总股数3247.99万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：蒋渊于2021-04-28解除质押697万股，占所持股比例为9.84%，占总股本比2.19%，剩余质押2878万股(该笔质押起始日2020-03-18)更多>>

股东户数：2021年04月30日公布截止2021年03月31日股东户数39528户，比上期保持不变更多>>

股东户数：2021年04月30日公布截止2020年12月31日股东户数38225户，比上期减少2127户更多>>

研报：2021年04月30日发布《清洗设备大幅增长，受益国产替代成长路径明晰》研报更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”、“本公司”)拟将上海江尚实业有限公司(以下简称“上海江尚”)49%股权以11,270万元人民币的价格出售给上海恩垒投资管理有限公司(以下简称“上海恩垒”)。更多>>

股权质押：截止2021年04月23日质押总比例12.18%，质押总股数3874.99万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2021年04月16日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2021年04月09日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

大宗交易：2021年04月08日共有1笔大宗交易，成交量6.19万股，成交额200.25万元更多>>

股权质押：截止2021年04月02日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2021年03月26日质押总比例8%，质押总股数2544.99万股，质押总笔数9笔更多>>

股权质押：截止2021年03月19日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2021年03月12日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2021年03月05日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：截止2021年02月26日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

股权质押：蒋渊于2021-02-10解除质押690万股，占所持股比例为9.75%，占总股本比2.17%，剩余质押2475万股(该笔质押起始日2018-12-18)更多>>

股东大会：于2021-02-19召开2021年第一次临时股东大会更多>>

股权质押：陆龙英于2021-02-10解除质押620万股，占所持股比例为37.77%，占总股本比1.95%，剩余质押0股(该笔质押起始日2020-06-04)更多>>

股权质押：截止2021年02月19日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

研报：2021年02月10日发布《清洗机业务批量交货，长期受益于清洗机国产化率提高》研报更多>>

股权质押：截止2021年02月10日质押总比例8.72%，质押总股数2774.99万股，质押总笔数10笔更多>>

并购重组：至微半导体将25,500万元增资至江苏启微更多>>

股权质押：蒋渊于2021-02-04解除质押1000万股，占所持股比例为14.12%，占总股本比3.14%，剩余质押3165万股(该笔质押起始日2018-12-18)更多>>

股权质押：陆龙英于2021-02-04解除质押718.6万股，占所持股比例为43.77%，占总股本比2.26%，剩余质押620万股(该笔质押起始日2019-12-19)更多>>

股权质押：截止2021年02月05日质押总比例12.84%，质押总股数4084.99万股，质押总笔数12笔更多>>

股东增减持日：2021年02月03日公布2020年11月11日至2021年02月02日，股东井冈山颀瑞投资合伙企业(有限合伙)减持1笔，减持16.579万股更多>>

大宗交易：2021年02月02日共有1笔大宗交易，成交量15.79万股，成交额515.7万元更多>>

并购重组：公司将募集资金31,000万元增资至天津波汇更多>>

关联交易：2021年01月30日公布与上海恩垒投资管理有限公司(其它关联关系)发生1笔交易，合计金额1.13亿元，款项涉及资产出售更多>>

股权质押：截止2021年01月29日质押总比例18.24%，质押总股数5803.61万股，质押总笔数14笔更多>>

高管持股：2021年01月27日公布2021年01月26日，沈一林等共增持3笔，共增持43万股更多>>

研报：2021年01月26日发布《湿法设备供不应求，上调2021年全年业绩》研报更多>>

股本变动：2021年01月26日因限制性股票原因发生股本变动更多>>

业绩预告：2021年01月26日预告，2020年年报净利润19999.37万元-23000.37万元，变动81.39%～108.61%更多>>

股本变动：2021年01月25日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2021年01月22日质押总比例18.32%，质押总股数5803.61万股，质押总笔数14笔更多>>

机构调研：2021年01月18日披露公司于2021年01月11日接待1家机构调研更多>>

龙虎榜：2021年01月15日因“非ST、*ST和S证券连续三个交易日内收盘价格涨幅偏离值累计达到20%的证券”披露龙虎榜信息更多>>

股权质押：截止2021年01月15日质押总比例18.68%，质押总股数5803.61万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：截止2021年01月08日质押总比例18.81%，质押总股数5803.61万股，质押总笔数14笔更多>>

股权质押：共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙)于2021-01-04解除质押916.7万股，占所持股比例为72.37%，占总股本比2.98%，剩余质押0股(该笔质押起始日2020-01-10)更多>>

股权质押：截止2020年12月31日质押总比例21.83%，质押总股数6720.33万股，质押总笔数15笔更多>>

股东增减持日：2020年12月31日公布2020年09月29日至2020年09月30日，股东平湖合波投资管理合伙企业(有限合伙)减持1笔，减持36.45万股更多>>

股东增减持日：2020年12月31日公布2020年12月22日至2020年12月29日，股东上海蒲锐迪投资合伙企业(有限合伙)减持1笔，减持49.817万股更多>>

股本变动：2020年12月31日因非公开增发A股上市原因发生股本变动更多>>

股本变动：2020年12月30日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

大宗交易：2020年12月29日共有1笔大宗交易，成交量9.91万股，成交额364.89万元更多>>

并购重组：公司参与北京沃衍资本管理中心(有限合伙)(以下简称“北京沃衍”)发起设立的投资基金,基金名称为福州嘉衍创业投资合伙企业(有限合伙)(以下简称“福州嘉衍”或“合伙企业”),福州嘉衍基金募集规模46,520万元,普通合伙人及基金管理人为北京沃衍。公司投资人民币2,000万元作为有限合伙人认购福州嘉衍的基金份额。更多>>

股权质押：截止2020年12月25日质押总比例25.84%，质押总股数6720.33万股，质押总笔数15笔更多>>

股权质押：截止2020年12月18日质押总比例25.84%，质押总股数6720.33万股，质押总笔数15笔更多>>

股权质押：上海蒲锐迪投资合伙企业(有限合伙)于2020-12-11解除质押40万股，占所持股比例为27.06%，占总股本比0.15%，剩余质押30万股(该笔质押起始日2020-09-24)更多>>

股本变动：2020年12月16日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

机构调研：2020年12月15日披露公司于2020年12月14日接待56家机构调研更多>>

股权质押：截止2020年12月11日质押总比例24.92%，质押总股数6480.33万股，质押总笔数14笔更多>>

高管关联人持股：2020年12月08日公布2020年12月02日有1笔高管关联人员减持，减持185.3552万股更多>>

股权质押：蒋渊于2020-12-02解除质押1000万股，占所持股比例为14.12%，占总股本比3.85%，剩余质押3925万股(该笔质押起始日2017-08-07)更多>>

股本变动：2020年12月05日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2020年12月04日质押总比例24.92%，质押总股数6480.33万股，质押总笔数13笔更多>>

股东增减持日：2020年12月03日公布2020年11月10日至2020年11月10日，股东井冈山颀瑞投资合伙企业(有限合伙)减持1笔，减持15万股更多>>

股东增减持日：2020年12月03日公布2020年09月30日至2020年09月30日，平湖合波投资管理合伙企业(有限合伙)等股东共减持2笔，共减持3.2万股更多>>

股东大会：于2020-12-01召开2020年第三次临时股东大会更多>>

股权质押：截止2020年11月27日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2020年11月20日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

高管持股：2020年11月19日公布2020年11月18日，蒋渊减持1笔，减持520.096万股更多>>

大宗交易：2020年11月18日共有2笔大宗交易信息，总成交量520.1万股，总成交额15576.88万元更多>>

股本变动：2020年11月18日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2020年11月13日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2020年11月06日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

研报：2020年11月01日发布《Q3业绩略低于预期，清洗设备龙头增长动力充足》研报更多>>

股东户数：2020年10月31日公布截止2020年09月30日股东户数40352户，比上期增加14392户更多>>

业绩报表：2020年三季报归属净利润8254万元，同比增长10.76%，基本每股收益0.322元更多>>

预约披露日：2020年第三季度季报预约2020年10月31日披露更多>>

股本变动：2020年10月31日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：截止2020年10月30日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2020年10月23日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2020年10月16日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股权质押：截止2020年10月09日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股东增减持日：2020年10月09日公布2020年09月30日至2020年09月30日，股东平湖合波投资管理合伙企业(有限合伙)增持1笔，增持0.21万股更多>>

股权质押：截止2020年09月30日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股本变动：2020年09月30日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

高管持股：2020年09月29日公布2020年09月29日，吴海华减持1笔，减持35.38万股更多>>

高管持股：2020年09月28日公布2020年09月28日，吴海华减持1笔，减持44.77万股更多>>

股本变动：2020年09月28日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2020年09月28日有245250.00股可流通上市更多>>

高管持股：2020年09月27日公布2020年09月25日，吴海华减持1笔，减持45.2万股更多>>

股权质押：平湖合波投资管理合伙企业(有限合伙)于2020-09-24解除质押70万股，占所持股比例为46.41%，占总股本比0.27%，剩余质押0股(该笔质押起始日2020-05-28)更多>>

股权质押：截止2020年09月25日质押总比例28.13%，质押总股数7315.33万股，质押总笔数12笔更多>>

高管持股：2020年09月25日公布2020年09月24日，吴海华减持1笔，减持54.65万股更多>>

股权质押：截止2020年09月18日质押总比例29.02%，质押总股数7547.33万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2020年09月11日质押总比例29.02%，质押总股数7547.33万股，质押总笔数13笔更多>>

股权质押：截止2020年09月04日质押总比例28.83%，质押总股数7497.33万股，质押总笔数12笔更多>>

股东大会：于2020-09-03召开2020年第二次临时股东大会更多>>

研报：2020年08月30日发布《Q2收入大幅增长，清洗设备订单持续兑现》研报更多>>

股东户数：2020年08月29日公布截止2020年06月30日股东户数25960户，比上期增加1139户更多>>

业绩报表：2020年中报归属净利润3036万元，同比下降29.58%，基本每股收益0.119元更多>>

预约披露日：2020年半年报预约2020年08月29日披露更多>>

公司投资：2020年08月29日公布截止2020年06月30日长期股权投资3家公司，共计1.05亿元，本报告期内损益-3.09万元更多>>

股权质押：截止2020年08月28日质押总比例28.83%，质押总股数7497.33万股，质押总笔数12笔更多>>

并购重组：上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称“公司”)因业务发展需要,拟向控股子公司至微半导体(上海)有限公司(以下简称“至微半导体”)增资1.7亿元人民币,再由至微半导体向其全资子公司合肥至微半导体有限公司(以下简称“合肥至微”)增资1.7亿元人民币。同时,公司拟投资1亿元人民币设立全资子公司天津波汇光电技术有限公司,用于发展光电子与光电传感业务。更多>>

股权质押：截止2020年08月21日质押总比例28.64%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

研报：2020年08月19日发布《募资扩产突破产能瓶颈，清洗设备业务持续看好》研报更多>>

股权质押：截止2020年08月14日质押总比例28.64%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2020年08月07日质押总比例28.64%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2020年07月31日质押总比例28.64%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

高管关联人持股：2020年07月30日公布2020年07月29日有1笔高管关联人员减持，减持221.4万股更多>>

高管关联人持股：2020年07月29日公布2020年07月28日有1笔高管关联人员减持，减持277.6万股更多>>

大宗交易：2020年07月29日共有1笔大宗交易，成交量221.4万股，成交额9092.9万元更多>>

大宗交易：2020年07月28日共有2笔大宗交易信息，总成交量33万股，总成交额1365.54万元更多>>

大宗交易：2020年07月27日共有2笔大宗交易信息，总成交量240万股，总成交额9726.3万元更多>>

股权质押：截止2020年07月24日质押总比例28.64%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

大宗交易：2020年07月23日共有1笔大宗交易，成交量4.6万股，成交额204.33万元更多>>

股本变动：2020年07月23日因限制性股票原因发生股本变动更多>>

股本变动：2020年07月22日因债转股上市原因发生股本变动更多>>

股权质押：共青城尚纯科技产业投资合伙企业(有限合伙)于2020-07-17解除质押350万股，占所持股比例为27.63%，占总股本比1.36%，剩余质押916.7万股(该笔质押起始日2020-01-10)更多>>

股本变动：2020年07月21日因股权激励限售流通股上市原因发生股本变动更多>>

限售解禁日：2020年07月21日有860000.00股可流通上市更多>>

股权质押：截止2020年07月17日质押总比例28.67%，质押总股数7447.33万股，质押总笔数11笔更多>>

股权质押：截止2020年07月10日质押总比例30.07%，质押总股数7797.33万股，质押总笔数11笔更多>>

机构调研：2020年07月10日披露公司于2020年07月10日接待39家机构调研更多>>

股东户数：2020年07月08日公布截止2020年04月30日股东户数24821户，比上期保持不变更多>>

研报：2020年07月07日发布《参与中芯国际战略配售，深度绑定发展加速》研报更多>>

研报：2020年07月06日发布《参与中芯国际战配，产业协同推动业绩增厚》研报更多>>

并购重组：公司参与中芯聚源股权投资管理(上海)有限公司(以下简称“中芯聚源”)发起设立的专项股权投资基金,基金名称为青岛聚源芯星股权投资合伙企业(以下简称“聚源芯星”或“合伙企业”),聚源芯星基金募集规模23.05亿元,普通合伙人及基金管理人为中芯聚源。公司投资人民币1亿元作为有限合伙人认购2聚源芯星的基金份额。聚源芯星作为战略投资者认购中芯国际集成电路制造有限公司在科创板首次公开发行的股票。更多>>

股权质押：截止2020年07月03日质押总比例30.15%，质押总股数7797.33万股，质押总笔数11笔更多>>